主要設備一覧
機械基盤研究施設では、以下の設備機器を用い、公募研究、共同研究、受託研究などを行うほか、試作受注、依頼計測、トラブル診断と対策の提言など、各種業務をおこなっています。
加工機
5軸制御ミリング・グラインディングマシン(特殊仕様)
最先端の５軸制御のミリング・グラインディングマシンで、CAD データより、望みの機械部品形状を高精度に加工できます。ダイレクトドライブを搭載したFDテーブルを搭載しており、ミーリングと旋削による複合加工が可能です。
型式：DMU 125 FD duoBLOCK (DMG MORI製)
幾何形状検査装置
3次元形状測定器
精密測定での世界のスタンダード的測定機で、かなり大形の機械部品まで、その形状精度をサブミクロン精度でチェックできます。上記5軸制御加工機と連携し、加工されたワークの形状偏差の評価を通常、CAD データを基準として行います。
型式：Prismo navigator 9/12/7 SACC VAST (Carl Zeiss製)
測定範囲：X 900 Y 1200 Z 650 (mm)
分解能：0.2 μm
高精度非接触センサー3D計測システム
300x300x300 の空間内の機械部品表面の3次元座標値をミクロンオーダーで取り込み、形状の表示、各種処理前後の形状変化などを見ることが出来ます。エッジの形状まで正確に評価できます。
型式：HN-C3030 (Nikon製)
被検物最大サイズ：直径300×H300 mm
測定精度：5μm
表面マイクロ形状評価装置
非接触3次元表面粗さ・形状測定器
白色光干渉に基づく非接触表面形状測定機で、1nm を超える解像度を持ちます。表面のナノ形状を測定することにより、表面粗さの詳細はもとより、表面金属組織の状態や工具の切れ刃の状態を正確に評価できます。材料の評価にも力を発揮します。
型式：Opt-scope (東京精密製)
計測方式：垂直走査型低コヒーレンス干渉法
垂直分解能：0.01nm
最大ワーク高さ：102mm
表面解析装置
デバイ環解析装置DRA(Debey Ring Analyzer)
鉄鋼の場合、表面から10μm 程度の深さにあるフェライト結晶の歪をX線回折反射光で測定します。
ポータブル型X線残留応力測定装置を連続多点自動測定出来るようにしたもので、取得したデバイ環形状のバラツキを評価し、残留応力や半価幅などの分布状態を明らかにすることが可能です。
型式：μ-X360s (パルステック工業株式会社製)
出力：30kV、1.5mA
計測方法：単一入射法(cosα法)
コリメータ径：Φ1.0mm(照射面Φ約2mm)
非接触硬さムラスキャナ(muraR)
鋼材表面の硬さのムラを、非接触・非破壊で高速に検出することができるスキャナで、硬さのムラを簡単に可視化することができます。
熱処理効果や切削・研削焼けの有無を非破壊で判定できます。
型式：muraR (パルステック工業株式会社製)
X線照射径：Φ3mm標準(オプションΦ1mm, Φ5mm)
測定対象：鋼全般 (Hv500以上、HRC45以上を推奨)
測定速度：3mm/s, 10mm2 ⇒2分(照射径Φ3mm)
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
材料表面の凹凸や元素成分分布を写真のように見ることが出来ます。材料の品質を評価でき、各種処理や苛酷な運転等により表面にどのような元素が存在するようになったかなどを見ることが出来ます。材料の評価に力を発揮します。
型式：JSM-6330FS (JEOL製)
加速電圧：0～30kV
倍率：10～50万倍
試料サイズ：～Φ32mm
材料内部検査装置
産業用マイクロフォーカスX線CT検査装置
225kVのマイクロフォーカスX線源を使用したCT装置です。
樹脂・プラスチック部品やアルミダイカスト部品などの内部観察や形状評価を行うことができ、設計、開発、試作、品質管理などの全ての段階で解析評価に利用できます。
型式：XTH-225 (株式会社ニコン社製)
最大出力：225W
撮像領域：Φ280mm
搭載可能ワークサイズ：Φ300mm x H400mm
最大ワーク重量：15kg
金属性状検査装置
超多点自動HV硬さ測定装置 HDA(Hardness Distribution Analyzer)
本装置では、数百～数千点の自動ビッカース硬さ測定を短時間で行うことが可能であり、例えば1000点の測定に要する時間は約140分です。これにより、人的要素に起因する測定誤差を排除し、作業者の疲労を大幅に軽減することが可能になります。人的誤差を排除した超多点の硬さ測定においては、これまで問題とされてきた「硬さのバラつき」が、材料特性に密接に結びつく非常に大きな意味を持つことが明らかになりつつあります。
荷重範囲：5g～2kg
最大測定可能試料径：100mm